Полисиликон бэлтгэх арга.

1. Ачаалах

Дулаан солилцооны ширээн дээр бүрсэн кварц тигелийг байрлуулж, цахиурын түүхий эд нэмж, дараа нь халаалтын төхөөрөмж, дулаалгын төхөөрөмж, зуухны тагийг суурилуулж, зуухны даралтыг 0,05-0,1мбар хүртэл бууруулж, вакуумыг хадгалах. Зуухны даралтыг үндсэндээ 400-600 мбар орчим байлгахын тулд аргоныг хамгаалалтын хий болгон нэвтрүүлнэ.

2. Халаалт

Зуухны их биеийг графит халаагуураар халааж эхлээд бал чулуун эд анги, тусгаарлагч давхарга, цахиурын түүхий эд гэх мэт гадаргууд шингэсэн чийгийг ууршуулж, дараа нь аажмаар халааж кварцын тигелийн температурыг 1200-1300 орчим болгоно.℃. Энэ процесс 4-5 цаг үргэлжилнэ.

3. Хайлах

Зуухны даралтыг үндсэндээ 400-600 мбар орчим байлгахын тулд аргоныг хамгаалалтын хий болгон нэвтрүүлнэ. Тигль дэх температурыг 1500 орчимд тохируулахын тулд халаалтын хүчийг аажмаар нэмэгдүүлнэ℃, мөн цахиурын түүхий эд хайлж эхэлдэг. 1500 орчим хадгална℃хайлж дуусах хүртэл хайлах явцад . Энэ процесс ойролцоогоор 20-22 цаг үргэлжилнэ.

4. Кристал өсөлт

Цахиурын түүхий эдийг хайлсны дараа халаалтын хүчийг бууруулж, тигелийн температурыг ойролцоогоор 1420-1440 хэм хүртэл бууруулна.℃, энэ нь цахиурын хайлах цэг юм. Дараа нь кварцын тигель аажмаар доошоо хөдөлж, эсвэл тусгаарлагч төхөөрөмж аажмаар дээшилдэг тул кварцын тигель нь халаалтын бүсээс аажмаар гарч, хүрээлэн буй орчинтой дулаан солилцоо үүсгэдэг; Үүний зэрэгцээ доороос хайлмалын температурыг бууруулахын тулд хөргөх хавтангаар ус дамжуулж, эхлээд талст цахиур үүснэ. Өсөлтийн процессын явцад болор ургалт дуусах хүртэл хатуу-шингэний интерфейс үргэлж хэвтээ хавтгайд параллель хэвээр байна. Энэ процесс ойролцоогоор 20-22 цаг үргэлжилнэ.

5. Хагалах

Кристал ургаж дууссаны дараа болорын доод ба дээд хэсгийн хоорондох температурын градиент их байдаг тул дулааны стресс нь ембүү дотор байж болох бөгөөд энэ нь цахиур хавтан халаах, батерейг бэлтгэх явцад амархан эвдэрдэг. . Иймд болор ургалт дууссаны дараа цахиурын ембүүг хайлах цэгийн ойролцоо 2-4 цагийн турш байлгаж, цахиурын ембүүний температурыг жигд болгож, дулааны даралтыг бууруулна.

6. Хөргөх

Цахиурын ембүүг зууханд шатаасны дараа халаалтын хүчийг унтрааж, дулаан тусгаарлагч төхөөрөмжийг дээш өргөх эсвэл цахиурын ембүүг бүрэн буулгаж, аргон хийн их урсгалыг зууханд оруулан цахиурын ембүүний температурыг аажмаар бууруулна. өрөөний температур; Үүний зэрэгцээ зуухны хийн даралт нь атмосферийн даралтанд хүрэх хүртэл аажмаар нэмэгддэг. Энэ процесс 10 цаг орчим үргэлжилнэ.